-

流量規格
0.5SCCM~20SLPM -

準確度
±0.5~1.0%Rd -

工作壓力
5kPaA~2MPaA可選 -

介質溫度
-50℃~110℃可選
產品規格
| 型號 | T100 | T300 | T450 | ||
| 流量規格 |
20SCCM~20SLPM |
0.5SCCM~20SLPM |
2SCCM~20SLPM |
||
| 準確度 |
±1.0%F.S. (2%~100% F.S.) |
1.0%Rd(20%~100%F.S.) 0.2%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
0.5%Rd(20%~100%F.S.)
0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
||
| 重復精度 |
±0.2%F.S. |
0.2%Rd(20%~100%F.S.) 0.04%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
0.1%Rd(20%~100%F.S.) 0.02%F.S.(0.5%~20%F.S.) |
||
| 壓力漂移 |
≤±0.1%F.S./100kPa 基準壓力:100kPaA |
≤±0.1%Rd/100kPa 基準壓力:100kPaA | |||
| 溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃ 基準溫度:25℃ | ≤±0.02%F.S./℃ 基準溫度:25℃ | |||
| 零點漂移 |
±0.2%F.S. |
±0.1%F.S. |
|||
| 工作范圍 |
2%~100%F.S. |
0.5%~100%F.S. |
|||
| 響應時間 |
≤100ms |
||||
| 啟動預熱時間 |
≤1s |
||||
| 介質溫度范圍 |
0℃~50℃ |
-20℃~60℃ |
|||
| 環境溫度范圍 |
0℃~50℃ |
-20℃~50℃ |
|||
|
滿量程壓損 |
10kPa(≤5SLPM);6kPa(10SLPM);8kPa(20SLPM) | ||||
| 耐壓 |
1.5 MPaA |
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|
最大工作壓力 |
900kPaA |
||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24V±20% | ||||
| 安裝方式 | 無指定(任意角度) | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質 | 橡膠圈密封:FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4~20mA / 0~5V | ||||
應用場景
下載手冊
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