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流量規格
0.5SCCM～5000SLPM -
準確度
±0.5~1.0%S.P. -
工作壓力
5kPaA-2MPaA可選 -
介質溫度
-50℃~80℃可選
產品規格
| 型號 | EC100 | EC200 | EC300 | EC400 | EC450 |
| 流量規格 | 20SCCM～500SLPM | 10SCCM～500SLPM | 0.5SCCM～5000SLPM | 2SCCM～2000SLPM | 2SCCM～2000SLPM |
準確度 | ±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) | ±1.0%S.P.(30%～±100%F.S.) ±0.3%F.S.(1%～30%F.S.) | ±1.0%S.P.(20%～100%F.S. | ±1.0%S.P.(10%～100%F.S.) | ±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) |
| 重復精度 | ±0.2%F.S. | ±0.2%Rd(20%～100%F.S. | ±0.1%Rd(20%～100%F.S.) | ||
壓力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa（基準壓力100kPaA) | ≤±0.1%Rd/100kPa（基準壓力100kPaA) | |||
溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃（基準溫度25℃） | ≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） | |||
| 零點漂移 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. | |||
| 工作范圍 | 2%～100%F.S. | 1%～100%F.S. | 0.5%～100%F.S. | ||
| 響應時間 | ≤800ms | ≤600ms | |||
| 啟動預熱時間 | ≤1s | ||||
| 介質溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 環境溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 最小工作壓差 | 50kPa（≤5SLPM）；100kPa（10SLPM）；50kPa（20SLPM）； | ||||
| 耐壓 | 1.5 MPaA | ||||
| 最大工作壓力 | 600kPaA | 900kPaA | |||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24VDC(±20%) | ||||
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質 | 橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、PROFIBUS、EtherCAT，PROFINET，DeviceNet、4～20mA / 0～5V | ||||
應用場景
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半導體設備
氫能及燃料電池技術
生物發酵罐的氣體控制
燃燒器控制
真空熱處理設備
硅碳負極等新型材料制備
真空鍍膜設備
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下載手冊
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